エクスプレナー-Nvidiaのチップを支える2億5000万ドルのASML製「プリンター」

Toby Sterling　Nathan Vifflin

［アムステルダム　１月２８日　ロイター］ - ASMLASML.ASは、1台2億5000万ドルもする巨大な「チップ印刷」装置であるリソグラフィ・システムの製造における優位性のおかげで、欧州で最も価値のある企業となり、AIブームを牽引する企業にとって不可欠な存在となっている。

ここでは、オランダ企業の躍進を支える技術について詳しく見ていこう。 (link)。

ASMLのプリンター需要を牽引しているもの

ASMLは、最先端半導体の製造に使用される極端紫外線（EUV）装置を独占しているが、中国や米国のライバル企業は代替技術の開発を試みている。

AIの急速な進歩とデータセンターの世界的な構築は、そのようなチップの需要を押し上げ、NvidiaのNVDA.OメーカーであるTSMC 2330.TWや他のAIチップメーカーへの供給がASMLの最大の事業となっている。

技術：ナノスケールで働く巨大な機械

スクールバスほどの大きさで重さ150トンのこの機械は、レーザー、ミラー、磁石の複雑なシステムを使って、チップ製造に必要なシリコンウェハーに微細な回路を書き込む。

この装置では、AIチップを100個ほど搭載したシリコンウエハーに光のパターンを照射し、比類ない精度で回路の層をマッピングする。

EUVの波長は13ナノメートルである。それに比べて人間の髪の毛の太さは8万から10万ナノメートルである。

ASMLと共同でこの技術を開発したベルギーのインターユニバーシティ・マイクロエレクトロニクス・センターのルック・ヴァン・デン・ホーブCEOによれば、この機械は、高度なチップ製造と特にAIチップが必要とする「パターン形成精度、スケーラビリティ、エネルギー効率」を提供するものだという。

レーザーとミラー

EUV光を発生させるために、錫の液滴は、ドイツの工業会社Trumpfが製造した、これまでに製造された中で最も強力なレーザーを用いて、1秒間に5万回の割合で噴射される。ドイツの光学システムメーカーであるツァイス社製のミラーは、宇宙望遠鏡で使用されるものよりも滑らかな表面を持ち、真空に保たれ、その光を機械の中心部へと導く。

ウェハーを載せたテーブルは磁石で浮上し、毎秒70─80メートルの速度で加速・減速する。

asmlのシステムはどのように納入されるのですか？

EUV装置はオランダで組み立てられた後、約40個のコンテナに詰められ、747貨物機でNvidiaのチップを製造している台湾のTSMC 2330.TWのほか、韓国のサムスン 005930.KS やSKハイニックス 000660.KS、米国のインテル INTC.O やマイクロン MU.O、日本のラピダスなどの工場に運ばれる。ASMLは昨年、このようなシステムを44台出荷しており、アナリストは2026年と2027年には大幅な増加が必要になると予測している。