上海奉賢：支持企業發展先進製程集成電路配套材料 如6N級以上高純靶材、深紫外光刻膠及配套試劑等

金吾財訊 | 上海市奉賢區人民政府辦公室11日發佈《奉賢區通用新材料產業發展行動方案(2025-2027)》。其中提出，以上海電子化學品專區爲載體，以杭州灣開發區、工業綜合開發區爲重點，依託確信樂思、同創普潤、康美特等企業，重點發力溼化學品、高純靶材、電子氣體、半導體封裝材料等集成電路配套材料方向。支持企業發展先進製程集成電路配套材料，如6N級以上高純靶材、G3級以上高純試劑、深紫外光刻膠及配套試劑等，加快實現國產替代。推動同創普潤新材料產業園項目落地，打造產業鏈生態拓展空間。