Axcelis Technologies Inc

Axcelis Technologies, Inc. 设计、制造和服务用于半导体芯片制造的离子注入和其他加工设备。该公司提供全系列高能量、高电流和中电流注入机，可满足所有应用需求。除了设备之外，该公司还提供广泛的售后生命周期产品和服务，包括二手工具、备件、设备升级、维护服务和客户培训。其 Purion 旗舰系统均基于通用平台，可实现注入纯度、精度和生产率的结合。Purion 产品结合了单个晶圆终端站和先进的点光束架构（确保晶圆上的所有点都以相同的光束角度看到相同的光束条件），可实现工艺控制，从而以高生产率优化设备性能和产量。该公司向世界各地的半导体芯片制造商销售其产品。