翼菲科技(06871)大幅揚升20% 推出Lobster系列晶圓機器人 加速佈局半導體高端裝備

金吾財訊 | 翼菲科技(06871)大幅揚升，報22.78港元，漲20.47%，成交額5302萬港元。

消息面上，翼菲科技今日推出 Lobster 系列晶圓機器人，覆蓋 4/6/8/12 寸晶圓傳輸場景，應用於上下料、設備對接、潔淨搬運等環節。該產品搭載自研運動控制系統與精密機械結構，定位精度達 0.1mm，具備高速穩定、潔淨柔性適配等特性。其通過德國 TÜV 萊茵 SEMI S2/S8/F47 認證，RW-A 型號達 ISO 1 級超潔淨度。

翼菲科技半導體自動化裝備已服務中芯國際等頭部晶圓廠，進入至純科技等核心客戶體系。公司爲芯源微供應尋邊器、爲邑文配套 ALD 倒片機、向比亞迪交付晶圓機械手、爲邁爲提供 EFEM 設備，合作客戶均形成穩定復購，產品覆蓋晶圓搬運、潔淨檢測、光刻配套等場景。據中國財富網，此舉爲國內先進半導體制造提供高精密國產裝備支撐。