
Toby Sterling/Nathan Vifflin
路透阿姆斯特丹1月28日 - ASML ASML.AS已成为欧洲最有价值的公司,这要归功于它在光刻系统制造领域的主导地位,这种巨大的 "芯片打印 "机器每台造价2.5亿美元,是推动人工智能热潮的公司不可或缺的设备。
以下是对这家荷兰公司崛起背后技术的详细介绍 (link)。
是什么推动了对 ASML 打印机的需求?
尽管中国和美国的竞争对手正试图开发替代产品,但 ASML 仍垄断了用于制造最先进半导体的极紫外(EUV) 机器。
人工智能的飞速发展和全球数据中心的兴建推动了对此类芯片的需求,这使得为 Nvidia 的 NVDA.O 制造商台积电 2330.TW 和其他人工智能芯片制造商提供产品成为 ASML 的头号业务。
技术:在纳米级工作的巨大机器
这些机器有一辆校车那么大,重达 150 吨,使用激光、镜子和磁铁组成的复杂系统,在芯片生产所需的硅晶片上写入微观电路。
它们通过在硅片上照射光的图案来绘制电路层,每个硅片上大约有上百个人工智能芯片,精确度无与伦比。
超紫外线波长为 13 纳米。相比之下,人类头发的厚度在 8 万到 10 万纳米之间。
比利时大学间微电子中心(Interuniversity Microelectronics Centre)与 ASML 合作开发了这项技术,该中心首席执行官 Luc Van den Hove 表示,这些机器可提供 "图案化精度、可扩展性和能效",而这正是先进芯片制造,尤其是人工智能芯片所依赖的。
激光器和反射镜
为了产生极紫外光,德国工业公司 Trumpf 制造的最强大的激光器以每秒 50,000 次的速度喷射锡滴。德国光学系统制造商蔡司生产的反射镜系统将光线导入机器的核心部分,该系统的表面比太空望远镜中使用的还要光滑,并保持在真空状态。
盛放晶片的工作台悬浮在磁铁上,以每秒 70 至 80 米的速度加速和减速。
ASML 的系统是如何交付的?
EUV设备在荷兰组装,然后装入约40个集装箱,用747货机运往为Nvidia生产芯片的台湾台积电(TSMC)2330.TW、韩国三星(Samsung)005930.KS和SK海力士(SK Hynix)000660.KS、美国英特尔(Intel)INTC.O和美光(Micron)MU.O以及日本Rapidus拥有的工厂。去年,ASML出货了44套这样的系统,分析师预测2026年和2027年需要大量增加。