艾司摩爾聯合荷蘭TNO推進光子晶片量產，曝光機巨頭加速佈局下一代運算

TradingKey - 美東時間6月24日，艾司摩爾（ASML）與荷蘭應用科學研究組織（TNO）宣布合作，共同推動光子積體電路產業化。雙方將圍繞 TNO 在恩荷芬高科技園區建設的光子晶片試產線展開技術協同。

光子晶片試產線是歐盟 PIXEurope 專案框架下的核心設施，已於 2026 年初啟動建設，計劃實現 6 英吋晶圓級磷化銦（InP）光子晶片的量產能力。根據協議，艾司摩爾將分階段提供 DUV 和 I-Line 微影設備及製程支援。艾司摩爾是全球微影技術的領軍企業，其提供的設備與製程支援，是光子晶片實現穩定量產的關鍵環節之一

光子晶片以光訊號替代電訊號傳輸數據，具備高速率、低能耗、抗電磁干擾和高頻寬等特性。AI 算力需求增長使電晶片在發熱和頻寬方面的瓶頸愈發明顯。市場研究機構 Yole 預測全球矽光子市場規模將從 2024 年的 2.78 億美元增至 2030 年的 27 億美元，年複合成長率 46%。磷化銦 6 英吋晶圓單片可切割出更多晶片，有助於分攤成本。

從專案背後的戰略考量來看，該合作的意義超出了具體設施本身，中間試驗生產線的功能是在實驗室研究和工業化製造之間架設通路，TNO 將負責營運設施五年，後續視條件移交產業界作為量產基地。

從歐洲視角看，該專案隸屬於歐盟《晶片法案》框架，歐洲希望在光子晶片領域建立一個開放共享的製造平台，供各類企業和研究機構使用。在全球半導體供應鏈頻繁波動的情況下，歐洲試圖透過光子晶片這條新賽道，在未來先進製造格局中爭取更主動的地位。

對艾司摩爾而言，其核心優勢在於微影設備，但晶片產業正在進入後摩爾時代，傳統技術路線逐漸逼近物理極限，新的方向正在打開。透過介入光子晶片量產，艾司摩爾既為現有業務拓展了應用場景，也在更長遠的產業格局中提前布局。

光子晶片大規模產業化仍面臨測試效率低、封裝整合複雜、初始成本偏高等問題。恩荷芬高科技園區已集聚 PhotonDelta 生態系中的新創企業、研究機構和高等院校。