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워싱턴/샌프란시스코, 12월12일 (로이터) - 반도체 제조업체 인텔(INTC.O)은 올해 중국에 깊은 뿌리를 두고 있으며 미국 제재 대상이 된 두 해외 사업부를 둔 한 업체의 반도체 제조 장비를 테스트했다고 정통한 소식통 2명이 밝혔다.
지난 8월 중국과의 유착 의혹으로 도널드 트럼프 대통령으로부터 CEO 사임 요구를 받은 인텔은 캘리포니아 프리몬트에 본사를 둔 반도체 제조 장비 생산업체인 ACM 리서치로부터 해당 장비를 공급받았다. 각각 상하이와 한국에 기반을 둔 ACM의 두 사업부는 중국 정부가 상업 기술을 군사적 목적으로 활용하고 첨단 반도체 또는 반도체 제조 장비를 만드는 노력을 지원했다는 혐의로 작년에 미국 기술 공급이 금지된 여러 기업 중에 속해 있다. ACM은 해당 혐의를 부인했다.
반도체로 변환되는 실리콘 웨이퍼에서 물질을 제거하는 데 사용되는 소위 습식 식각 장비 두 개가 인텔의 최첨단 반도체 제조 공정인 14A에 사용될 가능성이 있는지 테스트되었다. 이 공정은 2027년에 초기 출시가 예정돼 있다.
로이터는 인텔이 첨단 반도체 제조 공정에 이 장비를 추가하기로 결정했는지 확인할 수 없었으며, 인텔이 미국 규정을 위반했다는 증거도 없다.
ACM은 "구체적인 고객 계약"에 대해서는 언급할 수 없지만, "ACMR의 미국 팀이 아시아 사업장에서 국내 고객에게 여러 장비를 판매하고 제공한 것은 확인했다"고 말했다. 또한 "미국에 기반을 둔 주요 반도체 제조업체"에 세 개의 장비를 배송했으며, 이 중 일부는 테스트 중이며 성능 표준을 충족했다고 밝혔다.
그러나 현재 미국 정부가 일부 지분을 소유하고 있는 인텔이 제재 대상 기업이 만든 장비를 최첨단 제조 라인에 추가하는 것을 고려한다는 사실은 중요한 국가 안보 문제를 제기한다고 중국 매파들은 말했다. 그들은 인텔의 민감한 기술 노하우가 중국으로 이전될 가능성, 신뢰할 수 있는 서구의 장비 공급업체가 중국과 연계된 회사로 대체될 가능성, 심지어 중국의 방해 공작 가능성까지 지적했다.
조 바이든 대통령 직속의 전 백악관 국가안보회의 관리이자 외교관계위원회 선임 연구원이었던 크리스 맥과이어는 인텔의 ACM 장비 테스트는 "미국 기술 보호 정책의 심각한 격차를 강조하며 허용되어서는 안 된다"고 말했다.
그는 "중국의 장비는 중국 정부가 원격 또는 물리적으로 쉽게 조작하여 미국 반도체 생산을 저하시키거나 심지어 중단시킬 수 있다. 그리고 미국 기업들은 모든 첨단 기술 개발의 기반이 되는 중국의 반도체 제조 장비 개선을 돕는 데 어떤 역할도 해서는 안 된다"라고 덧붙였다.
ACM은 미국 내 사업장이 제재 대상인 상하이 소재 사업장과 "분리되어 격리"되어 있으며, 미국 고객들은 고객 영업 비밀을 보호하기 위한 강력한 안전장치를 통해 미국 직원이 직접 지원하고 있다면서 국가 안보 위협이 되지 않는다고 말했다.
원문기사 nL2N3VI132