據報中芯國際在測試中國首款國產DUV光刻機

據英國金融時報，兩位知情人士透露，中芯國際正在測試由上海初創公司宇量昇製造的深紫外光刻機。正在測試的這款機器採用的是浸沒式技術，類似於阿斯麥採用的技術。一位知情人士表示，儘管中芯國際的試驗初步結果令人鼓舞，但目前尚不清楚該機器是否以及何時能用於大規模芯片生產。