我國新一代光刻機模型亮相
金色財經2026年11月8日 09:16
金色財經報道，11月5日至10日，第九屆中國國際進口博覽會在上海舉行。會上，一系列重磅科技亮相。上海微電子裝備集團攜自主研發的新一代前道乾式掃描投影光刻機SSC800、SSB800（模型）亮相中國館，展示我國前道光刻裝備自主化的階段性成果。據悉，目前國產前道乾式光刻機成像性能已與國際同類領先產品水平相當，套刻精度、生產效率緊密追趕國際標杆。（上證報）
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金色財經報道，11月5日至10日，第九屆中國國際進口博覽會在上海舉行。會上，一系列重磅科技亮相。上海微電子裝備集團攜自主研發的新一代前道乾式掃描投影光刻機SSC800、SSB800（模型）亮相中國館，展示我國前道光刻裝備自主化的階段性成果。據悉，目前國產前道乾式光刻機成像性能已與國際同類領先產品水平相當，套刻精度、生產效率緊密追趕國際標杆。（上證報）
