中國在深圳祕密研製了一臺EUV光刻機原型機,並聘請了前ASML工程師。
中國將半導體領域的競爭推向了新的篇章。在深圳一處封閉的設施內,科學家們製造出了一臺原型極紫外光刻機,而華盛頓多年來一直試圖阻止這項技術的發展。
這臺機器於2025年初完工,幾乎佔據了整個廠房,目前正在測試中。它已經能夠產生極紫外光,這是先進芯片製造的關鍵部件,但尚未生產出可用的芯片。
據知情人士透露,整個項目是由前 ASML 工程師推動的,他們被招募來對這家荷蘭公司最封閉的系統進行逆向工程。
極紫外光刻機發出的光束可以刻蝕出比頭髮絲還細的電路。製造這些機器的人掌握着頂尖的計算能力:人工智能、智能手機、無人機、導彈,等等。
ASML首席執行官克里斯托夫·富凱表示,中國需要“很多很多年”才能建成EUV光刻系統,但參與該項目的人員表示,原型機表明中國在半導體自主化方面比許多人預期的要接近得多。他們還表示,光學元件和高精度零件方面的嚴格限制仍然是制約中國發展的因素。
但他們證實,二手市場上的舊款ASML零部件幫助該國製造了第一臺國產機器。有人表示,政府希望在2028年之前實現芯片的成熟,但現實情況是2030年。
中國在全國範圍內推行招募和保密措施
這個原型機是習近平主席下令實施的六年國家計劃的成果,習近平主席將半導體自給自足列爲首要任務。儘管中國公開談論芯片發展目標,但深圳項目一直處於保密狀態。
官方媒體稱丁學祥是負責整體半導體戰略的官員。熟悉這項工作的人士將整個項目比作“中國的曼哈頓計劃”。
華爲扮演了核心角色。該公司連接了國家科研院所、私營企業和數千名工程師。一位消息人士稱,“其目標是讓中國最終能夠在完全中國製造的機器上生產先進芯片”,並補充說,“中國希望將美國徹底逐出其供應鏈。”
ASML 仍然是全球唯一的 EUV 供應商,其設備售價約爲 2.5 億美元,被臺積電、英特爾和三星等芯片製造商用於生產英偉達和 AMD 等公司設計的芯片。
ASML表示,從2001年的原型到2019年的商用芯片,歷時20年,耗資數十億歐元。該公司表示:“其他公司想要複製我們的技術是可以理解的,但這絕非易事。”
自2018年以來,美國出口管制措施一直禁止向中國出售極紫外光刻(EUV)技術,並在拜登總統dent 期間於2022年擴大了管制範圍。特朗普政府現在表示,將加強執法力度並堵塞漏洞。
荷蘭政府正在對研究機構進行審查,以阻止敏感技術流出該國。這些限制措施減緩了中國芯片行業的發展,並限制了華爲更先進的技術生產。
中國研製出原型機並擴大國家芯片生產規模
在深圳這家戒備森嚴的實驗室裏,新員工的身份證件上都用的是假名。一位工程師說,他收到入職資料時,發現上面竟然是化名,這讓他大喫一驚。他說,他認出了以前在ASML的同事,他們也都在使用假dent。工人們被告知,除了實驗室內部人員,任何人都不能知道他們在做什麼。
許多新員工是近期退休的、出生於中國的前ASML工程師。兩名目前在荷蘭的ASML員工表示,華爲的招聘人員從2020年開始與他們接觸。
跨境保密規則的執行力度一直很弱,ASML 曾贏得一項針對一名被控竊取機密信息、現居北京的前工程師的 8.45 億美元判決。
荷蘭情報部門警告稱,中國利用“廣泛的間諜活動”來收集高科技知識,包括招募西方研究人員。
據稱,ASML 的老員工們使這一突破成爲可能,因爲如果沒有他們,對 EUV 系統進行逆向工程幾乎是不可能的。
中國在2019年啓動了一場大規模的人才招聘活動,提供300萬至500萬元人民幣的簽約獎金和住房補貼。其中一位被招入的人才包括ASML前光源技術負責人林楠。他的新團隊在18個月內申請了8項EUV專利。
儘管中國禁止雙重國籍,但一些在國外入籍的公民甚至獲得了中國護照。
ASML的系統重達180噸,因此中國在未能達到原尺寸後,建造了一個更大的原型機。該原型機雖然能夠運行,但與ASML的版本相比仍顯粗糙。缺失的部件包括通常由卡爾·蔡司公司提供的高精度光學元件。
包括長春CIOMP在內的中國各研究所致力於本地替代技術,並於2025年初整合了EUV光束。CIOMP向博士研究人員提供“無上限”的薪資和高達400萬元人民幣的科研經費。
中國從拍賣行和二手市場購入了老舊的ASML機器和零部件。一些與尼康和佳能相關的零部件也被用於原型機。中間商掩蓋了這些採購行爲。
大約100名應屆畢業生對零部件進行逆向工程,每張桌子上都裝有攝像頭記錄工作過程。當工人成功復原一個零件時,就能獲得獎金。
華爲半導體團隊的員工經常睡在廠區,工作日不能回家,手機也受到限制。
據稱,有人透露,各團隊保持隔離,以免瞭解其他團隊的研發進展。隨着中國努力實現對芯片供應鏈的全面掌控,CEO任正非向高層領導彙報了項目里程碑。
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