据报中芯国际在测试中国首款国产DUV光刻机

据英国金融时报，两位知情人士透露，中芯国际正在测试由上海初创公司宇量昇制造的深紫外光刻机。正在测试的这款机器采用的是浸没式技术，类似于阿斯麦采用的技术。一位知情人士表示，尽管中芯国际的试验初步结果令人鼓舞，但目前尚不清楚该机器是否以及何时能用于大规模芯片生产。