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据报中芯国际在测试中国首款国产DUV光刻机

老虎资讯2025年9月17日 01:18
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据英国金融时报,两位知情人士透露,中芯国际正在测试由上海初创公司宇量昇制造的深紫外光刻机。正在测试的这款机器采用的是浸没式技术,类似于阿斯麦采用的技术。一位知情人士表示,尽管中芯国际的试验初步结果令人鼓舞,但目前尚不清楚该机器是否以及何时能用于大规模芯片生产。

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