中微公司提出五年設備平臺化目標，半導體ETF早盤震盪調整，科創半導體ETF華夏（588170）跌0.35%，半導體設備ETF華夏（562590）跌1.87%

截至2026年5月13日11:07，科創半導體ETF華夏(588170)下跌0.35%，半導體設備ETF華夏(562590)下跌1.87%。熱門個股方面漲跌互現，中船特氣領漲20.00%，晶升股份上漲20.00%，天嶽先進上漲13.85%；芯源微領跌5.66%，耐科裝備下跌4.75%，安集科技下跌4.52%。

消息面上，中微公司昨日(5月13日)舉行2026年第一季度業績說明會。中微公司董事長尹志堯於會上表示，通過有機生長和外延擴展，公司將在五年左右時間內，覆蓋60%以上的集成電路高端關鍵設備、70%以上的先進封裝設備，全面成長爲國內領先、全球一流的集成電路設備平臺型公司。

相關ETF：科創半導體ETF華夏(588170)及其聯接基金(A類：024417；C類：024418)：跟蹤指數是科創板唯一的半導體設備主題指數，其中先進封裝含量在全市場中最高(約50%)，聚焦於科技創新前沿的硬核設備公司。

半導體設備ETF華夏(562590)及其聯接基金(A類：020356；C類：020357)：跟蹤中證半導體材料設備主題指數，其中半導體設備的含量在全市場指數中最高(約63%)，直接受益於全球芯片漲價潮對“賣鏟人”(設備商)的確定性需求。