台积电CoPoS产业化加速：首批设备启动验证；科创半导体ETF华夏（588170）下跌0.42%，半导体设备ETF华夏（562590）下跌0.62%

截至2026年6月22日11:11，科创半导体ETF华夏(588170)下跌0.42%，半导体设备ETF华夏(562590)下跌0.62%。热门个股方面涨跌互现，欧莱新材领涨11.36%，晶升股份上涨10.59%，华峰测控上涨6.57%；和林微纳领跌11.06%，芯源微下跌5.65%，艾森股份下跌4.95%。

消息面上，台积电已于近期确认首批CoPoS设备供应链评估名单，目前各厂商正积极跟随研发进度，以求通过认证。根据设备清单显示，包括玻璃基板处理、光阻涂布、曝光、镀铜、研磨、贴片、模封、检测、最终分选等环节，各设备厂已全面卡位，并陆续进入验证与认证阶段.诸多新晋供应商包括泛林集团、倍利科、辛耘等设备厂也已取得进展。

相关ETF：科创半导体ETF华夏(588170)及其联接基金(A类：024417；C类：024418)：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中存储芯片含量超70%，先进封装含量在全市场中最高(约60%)，聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏(562590)及其联接基金(A类：020356；C类：020357)：跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高(约66%)，直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”(设备商)的确定性需求。