中国在深圳秘密研制了一台EUV光刻机原型机，并聘请了前ASML工程师。

中国将半导体领域的竞争推向了新的篇章。在深圳一处封闭的设施内，科学家们制造出了一台原型极紫外光刻机，而华盛顿多年来一直试图阻止这项技术的发展。

这台机器于2025年初完工，几乎占据了整个厂房，目前正在测试中。它已经能够产生极紫外光，这是先进芯片制造的关键部件，但尚未生产出可用的芯片。

据知情人士透露，整个项目是由前 ASML 工程师推动的，他们被招募来对这家荷兰公司最封闭的系统进行逆向工程。

极紫外光刻机发出的光束可以刻蚀出比头发丝还细的电路。制造这些机器的人掌握着顶尖的计算能力：人工智能、智能手机、无人机、导弹，等等。

ASML首席执行官克里斯托夫·富凯表示，中国需要“很多很多年”才能建成EUV光刻系统，但参与该项目的人员表示，原型机表明中国在半导体自主化方面比许多人预期的要接近得多。他们还表示，光学元件和高精度零件方面的严格限制仍然是制约中国发展的因素。

但他们证实，二手市场上的旧款ASML零部件帮助该国制造了第一台国产机器。有人表示，政府希望在2028年之前实现芯片的成熟，但现实情况是2030年。

中国在全国范围内推行招募和保密措施

这个原型机是习近平主席下令实施的六年国家计划的成果，习近平主席将半导体自给自足列为首要任务。尽管中国公开谈论芯片发展目标，但深圳项目一直处于保密状态。

官方媒体称丁学祥是负责整体半导体战略的官员。熟悉这项工作的人士将整个项目比作“中国的曼哈顿计划”。

华为扮演了核心角色。该公司连接了国家科研院所、私营企业和数千名工程师。一位消息人士称，“其目标是让中国最终能够在完全中国制造的机器上生产先进芯片”，并补充说，“中国希望将美国彻底逐出其供应链。”

ASML 仍然是全球唯一的 EUV 供应商，其设备售价约为 2.5 亿美元，被台积电、英特尔和三星等芯片制造商用于生产英伟达和 AMD 等公司设计的芯片。

ASML表示，从2001年的原型到2019年的商用芯片，历时20年，耗资数十亿欧元。该公司表示：“其他公司想要复制我们的技术是可以理解的，但这绝非易事。”

自2018年以来，美国出口管制措施一直禁止向中国出售极紫外光刻（EUV）技术，并在拜登总统dent 期间于2022年扩大了管制范围。特朗普政府现在表示，将加强执法力度并堵塞漏洞。

荷兰政府正在对研究机构进行审查，以阻止敏感技术流出该国。这些限制措施减缓了中国芯片行业的发展，并限制了华为更先进的技术生产。

中国研制出原型机并扩大国家芯片生产规模

在深圳这家戒备森严的实验室里，新员工的身份证件上都用的是假名。一位工程师说，他收到入职资料时，发现上面竟然是化名，这让他大吃一惊。他说，他认出了以前在ASML的同事，他们也都在使用假dent。工人们被告知，除了实验室内部人员，任何人都不能知道他们在做什么。

许多新员工是近期退休的、出生于中国的前ASML工程师。两名目前在荷兰的ASML员工表示，华为的招聘人员从2020年开始与他们接触。

跨境保密规则的执行力度一直很弱，ASML 曾赢得一项针对一名被控窃取机密信息、现居北京的前工程师的 8.45 亿美元判决。

荷兰情报部门警告称，中国利用“广泛的间谍活动”来收集高科技知识，包括招募西方研究人员。

据称，ASML 的老员工们使这一突破成为可能，因为如果没有他们，对 EUV 系统进行逆向工程几乎是不可能的。

中国在2019年启动了一场大规模的人才招聘活动，提供300万至500万元人民币的签约奖金和住房补贴。其中一位被招入的人才包括ASML前光源技术负责人林楠。他的新团队在18个月内申请了8项EUV专利。

尽管中国禁止双重国籍，但一些在国外入籍的公民甚至获得了中国护照。

ASML的系统重达180吨，因此中国在未能达到原尺寸后，建造了一个更大的原型机。该原型机虽然能够运行，但与ASML的版本相比仍显粗糙。缺失的部件包括通常由卡尔·蔡司公司提供的高精度光学元件。

包括长春CIOMP在内的中国各研究所致力于本地替代技术，并于2025年初整合了EUV光束。CIOMP向博士研究人员提供“无上限”的薪资和高达400万元人民币的科研经费。

中国从拍卖行和二手市场购入了老旧的ASML机器和零部件。一些与尼康和佳能相关的零部件也被用于原型机。中间商掩盖了这些采购行为。

大约100名应届毕业生对零部件进行逆向工程，每张桌子上都装有摄像头记录工作过程。当工人成功复原一个零件时，就能获得奖金。

华为半导体团队的员工经常睡在厂区，工作日不能回家，手机也受到限制。

据称，有人透露，各团队保持隔离，以免了解其他团队的研发进展。随着中国努力实现对芯片供应链的全面掌控，CEO任正非向高层领导汇报了项目里程碑。

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